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- 发布日期:2026-03-26 08:38 点击次数:79

扬子晚报网3月23日讯(记者 姜婧仪 通许员 江融宣)在半导体晶圆厂的洁净室里欧洲杯体育,一辆辆承载着价值千万晶圆的磁驱“天车”在空中轨说念上轻微穿梭,成为芯片出生流程中最独有的状态线。在行将召开的人人鸿沟最大的半导体专科博览会SEMICON China上,位于江宁开荒区的专精特新“小巨东说念主”企业——江苏说念达智能科技有限公司将放出“大招”:携最新研发的第二代半导体磁驱天车“腾龙”亮相。公司董事长孙俊杰流露,首台套磁驱天车“腾龙”瞻望于本年6月份拜托使用。

磁驱“天车” 在空中轨说念上轻微穿梭
自动物料搬运系统(AMHS)就成为半导体制造工场中不行或缺的高技术物流系统,它通过快速精确搬运物料载体,突破了传统东说念主力搬运在机台间的效果瓶颈,而“天车”即是这套系统中的中枢设置。
昔日很长一段时候里,半导体的天车商场,大多接纳外洋的系统和时间。“只消把中枢时间掌持在咱们我方手上,身手着实为产业、为客户更好地惩办问题。”孙俊杰对公司的长久发展有着明晰的意识。

磁驱“天车” 在空中轨说念上轻微穿梭
从2017年运行,说念达就对准天车截止系统,从软件起原,再到具体轨说念的车轮磨损、滑轨材料、供电神气,进行沿路自研。几年来,说念达集会了大批的发明专利,见效开荒放洋产首套5.3米/秒高速天车系统,冲突了外洋长达20多年的把持,成为现在国内唯独通过自研收场量产的天车系统厂商。
如今,公司在第一代旋转伺服天车“麒麟”的基础上,络续攻克时间贫穷,见效研制出磁驱天车“腾龙”,该居品收场了要津零部件100%国产化。与第一代居品比拟,“腾龙”接纳了自主研发的磁悬浮无战役驱动时间,运输流程中收场零磨损、零粉尘,从根底上惩办洁净度问题,同期收场微米级的精确定位。
不仅如斯,第二代居品还装上了“最精深脑”——配备了自主研发的三层智能更始系统,通过AI算法进行预测活动和故障自愈,收场一个后台治理千台设置。
“经过测试,‘腾龙’的直行速率仍是从一代居品的5.3米/秒提高到6米/秒,定位精度栽培到±0.5毫米,振动降至0.25g,这意味着新一代天车更快、更稳、更精确。” 孙俊杰暗意。
校对 陶善工欧洲杯体育
